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日開發氮化鎵單晶基板量產法

日本東北大學、日本制鋼所公司和三菱化學公司合作,開發出了可量產直徑2英寸以上的氮化鎵單晶基板的低壓酸性氨熱(LPAAT)法。
2020-06-12
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